D07 -7CM 型气体质量流量计
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精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点,其操作使用方便、可任意位置安装、并便于于计算机连接实现自动控
- 优势特点
精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点,其操作使用方便、可任意位置安装、并便于于计算机连接实现自动控制。
- 规格参数
流量规格:(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10)SLM 准确度:±1.5 %F.S 线性:±1 %F.S 重复精度:±0.2 %F.S 响应时间:电特性:10sec 气特性:≤4sec 工作压差范围:(0.1~0.5)MPa 耐压:3MPa 工作环境温度:5℃~45℃ 输入输出型号:0V~+5.00V 电源:+15V 50mA -15V 200mA 重量:1.1kg |
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